Газовые системы сверхвысокой (UHP) чистоты

SVCS использует свой многолетний опыт разработки и производства заказных газовых панелей и газовых систем для различных отраслей полупроводниковой промышленности, а также для применения в различных R&D проектах. Линейка газовых систем SV DELI предлагает высокий уровень технического дизайна, компоненты от мировых лидеров и полностью автоматизированная система управления с независимыми функциями безопасности.

подробнее

SV Deli

Газовые системы сверхвысокой (UHP) чистоты включают в себя:

Газобаллонные шкафы для одного, двух или трех баллонов
Газораспределительные шкафы (VMB) для питания нескольких потребителей
Газовые системы для источников большого объема (BSGS)
Газовые системы для различного полупроводникового оборудования
Заказные газовые панели для R&D

Конфигурация газобаллонных шкафов

Открытые, для настенного монтажа (инертные газы)
Газобаллонный шкаф для одного баллона, с внешним источником продувочного газа
Газобаллонный шкаф для двух баллонов:
- 2 баллона с технологическим газом, с внешним источником продувочного газа и автоматическим переключением баллонов
- 1 баллон с технологическим газом, 1 баллон с продувочным газом
Газобаллонный шкаф для трех баллонов:
- 3 баллона с технологическим газом, с внешним источником продувочного газа и автоматическим переключением баллонов
- 2 баллона с технологическим газом и автоматическим переключением, 1 баллон с продувочным газом

Особенности системы управления

Автоматическая система управления с сенсорным дисплеем
Автоматическая циклическая продувка
Контроль остаточного давления или веса баллона
Датчик давления для контроля выходного давления
Клапан контроля перерасхода
Настраиваемые значения остаточного давления или веса баллона для автоматического переключения
Внешние цифровые входы и выходы
Многоуровневая система доступа для обеспечения безопасности
Ethernet-интерфейс

Спецификация

Газовая панель собрана с использованием орбитальной сварки в чистой комнате класса 100/10
Трубки, фитинги, клапаны, регуляторы давления, фильтры, РРГ и прочие компоненты имеют сварные или VCR присоединения, с шероховатостью поверхности не более 10мкм
Тест по натеканию гелия и тест функциональности всех компонентов до сварки и сборки газовой панели
Тест по натеканию гелия после сварки и сборки газовой панели
Малый внутренний объем газовых панелей достигается за счет использования миниатюрных сварочных головок
Компактный генератор вакуума для циклических продувок

Опции

Специальные газовые панели по требованиям заказчика
Коллектор для продувки пигтейла (deep-purge)
Детектор опасных газов в вытяжной системе
Датчик давления в коаксиальном трубопроводе
Дополнительный фильтр частиц или очиститель процессного/продувочного газа
Аналитические услуги для определения уровня частиц, влаги, кислорода и углеводородов в газе.

Газовые системы для технологического оборудования

Производство OEM специально разработанных газовых систем для ионных имплантеров, установок сухого травления, эпитаксиальных реакторов, уникальных исследовательских аппаратов и проч. Эти системы могут включать в себя принципиально новое электронное управление разного класса для использования расширенной функциональности.

Загрузить

Газовые системы сверхвысокой (UHP) чистоты (pdf) для печати / для просмотра

Обратитесь к нашему региональному представителю

Показать центральные офисы

Poland
Poland
«PVG Spółka z Ograniczoną Odpowiedzialnością» Sp.K.
ul. Santocka 39, 71-083 Szczecin
Tel. +48 539 944 449
Fax +48 918 310 988
Email:
Hong Kong
Hong Kong
Great Domain
Enterprise Co., Ltd.
15-1F, No.37, Sec. 2, Sanmin Rd.,
Banqiao Dist., New Taipei City, Taiwan
Tel.: 0912-730-586
Fax: 0289538399
Email:
Vietnam
Vietnam
AMST., CO. Ltd.
Mr. Le Quoc Trong
48A, Alley 21 Phan Dinh Giot Str.
Thanh Xuan Dist., Hanoi
Vietnam
Tel/Fax +84 4 62852094
Mob: +84 947180189
Australia
Australia
UHP Australia Ply Ltd.
Unit 4, 20 Velediclion Road, Kings
Park NSW 2148, AUSTRALIA
Tel.: +61 (0)2 9676 6769
Mob.: +61 (0) 3904 3893
Email:
Japan
Japan
VYTEK Ltd.
Mr. Vladimir Kovacik
Wisteria Komae bldg.3F
1-2-8 Izumi Honcho, Komae, Tokyo, 201-0003 Japan
Tel.:+81-3-3480-9082
Fax:+81-3-3480-9083
Email:
http://www.vytek.co.jp/
Korea
Korea
Sang-Hoon, Lee (Mr. Edward Lee)
Managing Director of SH Korea
#310-213, Ansan Distribution Complex
994-6, Wongok-dong, Danwon-gu,
Ansan-si, Gyeonggi-do, Korea.
zip code 15431
Fax: +82.31.8084.4744
web-site: www.shkorea.kr
Mobile: 82-10-4307-8412
Email:
Taiwan
Taiwan
Sung Yuan Biotechnology Co., Ltd.
Mr. Thomas Liu
Sales Director
No.818, Wen-San Road, Up-Mountain village
Chung-Lin Hsiang, Hsin-Chu County 307,
Taiwan R.O.C
Tel: +886-3-5122.096 ext 101
Fax: +886-3-5925.308
Mobile: +886-938-365.326
Email:
Email:
China
China
PELAS
Mr. Tony Wang
Shanghai PelaStar Materials Technology Co., Ltd
Room. 1102, Suncome Liauw’s Plaza, No. 738, Shangcheng Rd.Shanghai, 200120, China
Tel.: 86-21-51981110
Fax.: 86-21-51981109
Mobile: 13816658585
Email:
Malaysia
Malaysia
SERMAX Engineering Pte Ltd (201025665Z)
11 Mandai Estate, #08-01 Eldix, Singapore 729908
Phone : +65-6710 7710
Fax : +65-6710 7710
Email:
India
India

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
Mumbai-Pune Road,
Opp: Empire Estate
Pimpri, Pune 411 018 (India)
Phone No.: +91-20-27468617/18, +91-9763718051
Fax No.: +91-20-27468615
Email:
http://www.fillunger.com/

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
16, B.E.S.T. Marg, Opp. Electric House, Colaba,
Mumbai 400 039
Phone No.: +91-22-22024157 / 22856372
Fax. No.: +91-22-22856371
Email:
Contact Person
Mr. T. Chakravarty, Branch Manager

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
205, 2nd Floor, Shivlok House II,
Karampura Commercial Complex,
New Delhi 110 015
Tel. No.: +91-11-42488019 / 25415789
Fax No.: +91-11-42488018
Email:
Contact Person
Mr. Sunil Notaney, Asst. Sales Manager

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
Post Box No. 339,
115/2, 11th Cross, 3rd Main Road, Malleswaram,
Bangalore 560 003
Tel No.: +91-80-2334 5889 / 2344 1963
Fax No.: +91-80-2334 6211
Email:
Email:
Contact Person
Mr. B.S. Rao, Branch Manager
Russia
Russia
ООО «СВЦС»
Игорь Владимирович Березенко
Директор
124527 Москва, Зеленоград,
Солнечная аллея, д.6, офис 223
Россия
Тел.: +7 495 790 63 31
Email:
https://www.svcs.com
Turkey
Turkey
TESTONE TEKNOLOJI COZUMLERI SAN. VE TIC LTD. STI.
Gürsel Mah. İkbal Sok TestOne Binası No :7
Kağıthane-İstanbul
Tel: 0212 251 24 25
Fax: 0212 222 90 90
Email:
USA
USA
SVCS CO.
1819 Main Street
Sarasota • Florida 34236 • USA
www.svcs.com
Email: