Панель для распределения жидких реагентов и температурный контроль прекурсоров
точный и стабильный контроль температуры
Многие современные химические реагенты для полупроводниковой промышленности и фотовольтаики доступны только в жидком состоянии. Поэтому нами были разработаны подходящие системы для использования в технологических процессах. Один из способов доставки химикатов основан на захвате паров реагента потоком газа, проходящим через слой жидкости.