Установки LPCVD

для высокой эффективности процессов

Конструкция установок SVCS для осаждения из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD) сочетает возможность проведения различных процессов с обеспечением высокой производительности для серийного производства (SVсFUR-FP) и высокую гибкость компактных моделей для использования в исследовательских работах и опытном производстве (SVсFUR-RD). Результатом является безопасная, простая в обслуживании и надежная горизонтальная LPCVD платформа.

Конструкция установок SVCS обеспечивает высокую эффективность, малое занимаемое пространство и низкую эксплуатационную стоимость при высокой гибкости технологических процессов.

подробнее

Процессы LPCVD

Нитрид кремния
Низкотемпературный оксид (LTO)
Высокотемпературный оксид (HTO)
Оксид из TEOS
Поликремний, с плоским или наклонным температурным профилем
Легированный поликремний
Оксинитрид

Особенности и преимущества

Современная модульная специализированная система управления собственного производства
Использование высококачественных компонентов обеспечивает длительную и бесперебойную работу технологического оборудования
До четырех горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов
Различные методы контроля уровня вакуума, с нагревом или без нагрева:
- Дисковый вентиль (TBV)
- Балластный азот
- Частотное управление вакуумным насосом
Интеграция вакуумной откачной системы в сотрудничестве с ведущими производителями вакуумных насосов
Продвинутая система водяного охлаждения для минимизации теплового воздействия между соседними реакторами
Фланцы с водяным охлаждением собственной разработки
Полностью автоматическая бесконтактная система загрузки консольного типа
Удобная в обслуживании конструкция

Техническая информация

Размер пластин	150 мм, 200 мм или другие по запросу
Размер партии	FP: 100+ RD: 25 (стандартно)
Система нагрева	3 или 5 зон
Рабочая зона	FP: до 1067 мм (42″) RD: от 300 мм (12″) Равномерность нагрева: ± 0.5°C по зоне
Рабочая температура	от 200°C до 1200°C
Потребляемая мощность	80 кВт – 150 кВт в зависимости от конфигурации
Источник питания	150 мм: 3 фазы, 400 или 480 VAC, 140 A, 50 или 60 Гц 200 мм: 3 фазы, 400 или 480VAC, 160A, 60 Гц (система адаптирована к сети питания заказчика)
Сухой сжатый воздух	70 – 110 psig (от 4,8 до 7,6 бар)
Оборотная вода	40 — 60 л/мин
Вытяжная вентиляция	210 м³/ч на канал
Опции	Подъемник лодочек и автоматический переукладчик пластин

Схема

Загрузить

Установки LPCVD для высокой эффективности процессов (pdf) для печати / для просмотра

Обратитесь к нашему региональному представителю

Показать центральные офисы

Poland
Poland
«PVG Spółka z Ograniczoną Odpowiedzialnością» Sp.K.
ul. Santocka 39, 71-083 Szczecin
Tel. +48 539 944 449
Fax +48 918 310 988
Email:
Hong Kong
Hong Kong
Great Domain
Enterprise Co., Ltd.
15-1F, No.37, Sec. 2, Sanmin Rd.,
Banqiao Dist., New Taipei City, Taiwan
Tel.: 0912-730-586
Fax: 0289538399
Email:
Vietnam
Vietnam
AMST., CO. Ltd.
Mr. Le Quoc Trong
48A, Alley 21 Phan Dinh Giot Str.
Thanh Xuan Dist., Hanoi
Vietnam
Tel/Fax +84 4 62852094
Mob: +84 947180189
Australia
Australia
UHP Australia Ply Ltd.
Unit 4, 20 Velediclion Road, Kings
Park NSW 2148, AUSTRALIA
Tel.: +61 (0)2 9676 6769
Mob.: +61 (0) 3904 3893
Email:
Japan
Japan
VYTEK Ltd.
Mr. Vladimir Kovacik
Wisteria Komae bldg.3F
1-2-8 Izumi Honcho, Komae, Tokyo, 201-0003 Japan
Tel.:+81-3-3480-9082
Fax:+81-3-3480-9083
Email:
http://www.vytek.co.jp/
Korea
Korea
Sang-Hoon, Lee (Mr. Edward Lee)
Managing Director of SH Korea
#310-213, Ansan Distribution Complex
994-6, Wongok-dong, Danwon-gu,
Ansan-si, Gyeonggi-do, Korea.
zip code 15431
Fax: +82.31.8084.4744
web-site: www.shkorea.kr
Mobile: 82-10-4307-8412
Email:
Taiwan
Taiwan
Sung Yuan Biotechnology Co., Ltd.
Mr. Thomas Liu
Sales Director
No.818, Wen-San Road, Up-Mountain village
Chung-Lin Hsiang, Hsin-Chu County 307,
Taiwan R.O.C
Tel: +886-3-5122.096 ext 101
Fax: +886-3-5925.308
Mobile: +886-938-365.326
Email:
Email:
China
China
PELAS
Mr. Tony Wang
Shanghai PelaStar Materials Technology Co., Ltd
Room. 1102, Suncome Liauw’s Plaza, No. 738, Shangcheng Rd.Shanghai, 200120, China
Tel.: 86-21-51981110
Fax.: 86-21-51981109
Mobile: 13816658585
Email:
Malaysia
Malaysia
SERMAX Engineering Pte Ltd (201025665Z)
11 Mandai Estate, #08-01 Eldix, Singapore 729908
Phone : +65-6710 7710
Fax : +65-6710 7710
Email:
India
India

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
Mumbai-Pune Road,
Opp: Empire Estate
Pimpri, Pune 411 018 (India)
Phone No.: +91-20-27468617/18, +91-9763718051
Fax No.: +91-20-27468615
Email:
http://www.fillunger.com/

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
16, B.E.S.T. Marg, Opp. Electric House, Colaba,
Mumbai 400 039
Phone No.: +91-22-22024157 / 22856372
Fax. No.: +91-22-22856371
Email:
Contact Person
Mr. T. Chakravarty, Branch Manager

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
205, 2nd Floor, Shivlok House II,
Karampura Commercial Complex,
New Delhi 110 015
Tel. No.: +91-11-42488019 / 25415789
Fax No.: +91-11-42488018
Email:
Contact Person
Mr. Sunil Notaney, Asst. Sales Manager

H. Fillunger & Co.Pvt.Ltd.
Post Box No. 339,
115/2, 11th Cross, 3rd Main Road, Malleswaram,
Bangalore 560 003
Tel No.: +91-80-2334 5889 / 2344 1963
Fax No.: +91-80-2334 6211
Email:
Email:
Contact Person
Mr. B.S. Rao, Branch Manager
Russia
Russia
ООО «СВЦС»
Игорь Владимирович Березенко
Директор
124527 Москва, Зеленоград,
Солнечная аллея, д.6, офис 223
Россия
Тел.: +7 495 790 63 31
Email:
https://www.svcs.com
Turkey
Turkey
TESTONE TEKNOLOJI COZUMLERI SAN. VE TIC LTD. STI.
Gürsel Mah. İkbal Sok TestOne Binası No :7
Kağıthane-İstanbul
Tel: 0212 251 24 25
Fax: 0212 222 90 90
Email:
USA
USA
SVCS CO.
1819 Main Street
Sarasota • Florida 34236 • USA
www.svcs.com
Email: